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永光化学:持续开发更尖端光阻剂

时间:2023-01-16 10:45:03 来源:网友投稿

避免产业链出现短板

2014年《推进纲要》发布,作为基础性、战略性产业,集成电路受到了各方重视。“《推进纲要》和‘产业基金’体现了国家在政策和资金上对集成电路产业发展的支持,产业和资本对此的热烈反响也体现了政策方向的正确性。在《推进纲要》发布后,我们很明显可以感受到对集成电路资源配置的调整,通过产业整台,整个产业朝着集约化的方向配置优势资源。这是一个可喜的变化,资源的集中统筹配置,可以改变中国集成电路领域长期存在的散小弱和同质化竞争的问题,产生协同效应。”永光化学电化营业处处长孙哲仁表示。

但是,从目前的整体发展态势来看,中国半导体产业与国际先进水平之间有进一步拉大之势。在IC设计领域,除通信芯片取得一定进步外,通用处理器、存储器、FPGA和DSP等对外依存度依然很高;在IC制造方面,中芯国际还在寻求突破28nm制程的量产瓶颈,国际先进大厂已经在讨论10nm制程了,整体步伐相差了2-3代。

“中国半导体的关键问题之一是产业链上存在短板,包括材料在内的配套产品大量依赖进口,本土企业不能提供有效支撑。”孙哲仁认为。“从集成电路行业整体发展情况来看,制造业仍然是全行业的龙头,没有制造,其他环节也很难做好,把制造业做大,实际是给材料行业提供了市场。但是光有制造业又是不足够的,集成电路产业的良性发展需要有适当的产业环境,需要有完善的生态体系。”

“一个相对完善的产业生态支撑体系,对制造企业参与国际竞争也是非常有益的。供应链的本土化,不仅在制造成本的控制上、快速及时的响应上十分有利;更重要的是,只有为制造企业量身打造的半导体材料(而非通用材料),才能保证工艺制程具有独特性,才能保证产品性能的最优化。”孙哲仁进一步指出。而目前,中国制造企业仍然大量采用日韩等国外厂商供应的材料,这不利于自身技术的发挥,也不利于培育本土材料等配套企业。

打造完善配套体系

“发展中国半导体产业,一方面要加强企业效率,实现资源互补;另一方面必须打造完整的产业链,不能存在短板。”孙哲仁指出。关键是制造企业有自信,能够控制自己的制程条件,发展自己的研发能力,而不是为了追求短期的高良品率,一味采用国际厂商提供的通用材料。同时,本土材料企业应能够及时填补需求,供应高性能的产品。

“光刻胶作为一种光敏材料,可将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上,在集成电路、LED、封装等领域有着广泛应用。特别是由于它运输贮存的特殊性,有着更迫切的本地化配套需求。随着12英寸先进技术节点生产线增多,多次曝光工艺的应用,光刻胶的需求量将有更快速的增长。永光也希望凭借自己的优势产品和技术,服务产业链上的客户。”孙哲仁表示。

资料显示,永光化学在I-Line材料上全面的布局,可以提供完整供应。在高分辨率的特性提升上,永光化学推出可应用在离子植入层,并具有高分辨率及制程宽容度佳双重特性的新产品。在l-Line黄光微影制程的产品上,持续开发更尖端性及高质量的光阻剂,已上市的EP1 626黄光微影制程分辨率达0.35um,EP1613应用于PSS图形化制程,具有耐热性佳、附着性佳、高感旋光性(较低的曝光能量)、较大的制程宽容度,在制程上比较容易加工以及高分辨率等特性。

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